水下能譜儀是一種分析物質元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發物質發射出特征x射線，根據特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供樣品表面之微區定性或半定量之成份元素分析，以及特定區域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下能譜儀測試的時候經常測到有碳，氧或者是其他一些樣品原本沒有的元素，樣品在存在，制樣，轉運的過程中和空氣接觸，樣品表面會隨機吸附空氣中的一些低沸點VOC，包括烷烴類，芳烴類，烯烴類，鹵烴類，酯類，醛類和酮類等物質，當吸附量達到EDS檢測下*候，就會探測器檢測到。我們最常見到的便是碳氧元素。

 

　　如果測到一些樣品不該還有的金屬元素，比如鋁，銅等，我就要考慮是否來自于測試的載具，有時候可能會由于樣品的太薄了，測試時候檢測到了基底的元素。如果測到一些稀土元素，比如鑭，錒，則有可能是因為噪音的峰太強了，儀器出現一些誤判，這種情況直接把此類元素刪除即可。

 

　　如果測試含硫的物質，出現鉬，測試含銦的物質，出現鉀，測試含溴的物質，出現鋁。此時我們要考慮是否是遇到了重疊峰的現象。這種情況是因為某些元素的某些線系臨街激發能相差太小了，導致結果出現誤判。解決方法是增加大加速電壓（該元素臨界激發能的2-3倍），激發某些元素在其他線系的能譜峰：如Al（K1.49）和Br（L1.48）接近，可以增大電壓至30kV，通過Br（K11.9）的能譜峰判定是否有Br。